MET一台3411便携式空气粒子计数器
随着存储大量数据的表面几何结构急剧减少，微电子制造商的粒子监测变得越来越重要。MET ONE 3411便携式空气粒子计数器旨在满足半导体洁净室监控、过程基准测试和粒子故障排除应用的独特需求。
便携式空气颗粒计数器，用于ISO 14464在ISO 1和ISO 2环境中的洁净室验证。
- 0.1微米灵敏度（范围0.1μm-1.0μm）
- 带可选采集器的顺序采样
- 风扇在运行过程中处于非活动状态，以将颗粒影响降至最低
- 简化的区域、位置和操作参数配置/复制界面
探索MET ONE 3411车型
特征
标准
- 符合ISO 14644-1标准的5级取样
数据管理
- 无线、以太网、串行和USB通信
- 打印或无纸数据输出
- 开放式通信体系结构
活动
- 最多6个粒度通道（2.83 LPM流速（0.1 CFM）
- 顺序采样能力
- 长寿命激光技术可提高性能和降低运营成本
应用
- 半导体洁净室分类与监测
- 持续环境监测
- 过程故障排除
产品规格
| 表演 | ISO 21501-4单位间准确度和再现性 |
| 行业标准 | 21 CFR第11部分，ISO 14644-1:2015，FCC，CE |
| 光源 | 氦氖激光器 |
| 重合损失 | %1765000颗粒/m³时（根据ISO 21501-4方法） |
| 样本量 | 5µm |
| 吞吐量 | 每分钟28.32升 |
| 报告 | 欧盟GMP，ISO 146441-1.2015，FS209E，BS5295，ISO 14644-1:1999 |
| 计数报警显示和周期 | 用户定义的报警计数、原始计数：累积或差分模式下的N/CF、N/CM、N/L |
| 参考的项目规范 | 2088800-02 |